化学气相法制备单层金刚石磨料工具实验研究

摘要

本文利用氢气和丙酮为原料，采用HFCVD法，以CVD金刚石涂层作为粘结结合剂，将金刚石磨粒固结在碳化硅基体表面，同时金刚石磨粒自身同质外延生长形成单晶颗粒，制备出新型碳化硅基体单层CVD金刚石磨料工具。