具有气相动力学控制的石墨烯化学气相法制备炉的多通道进气装置

摘要

本发明公开了一种具有气相动力学控制的石墨烯化学气相法制备炉的多通道进气装置，主要由进气导管、进气流控制器和输气管组成，每条进气导管都有进气流控制器，进气流控制器安装在进气导管上部，进气流控制器上部与输气管连接。该装置配合球形炉体使用，由于进气导管与球形炉体中心垂直线之间存在微小的夹角，使气流进入时形成微旋转的状态，在进气流控制器控制下，形成从球形炉体上端垂直流入直达基底材料表面的带有轻微旋转的气体气相路线，轻微旋转的气流加强了基底材料表面的气相动力学的均衡，消除了基底材料上不均衡的边界层，实现了石墨烯化学气相法制备的气相动力学控制和平衡，使碳源气体混合物均衡地与基底材料反应生长出高质量石墨烯。