一种工件台微动MIMO鲁棒模糊神经网络滑模控制方法

摘要

一种工件台微动MIMO鲁棒模糊神经网络滑模控制方法，属于超精密运动控制领域，为了解决光刻机工件台微动部分为实现完全对角解耦形式而进行的近似和忽略操作问题以及水平、竖直方向的未建模耦合特性问题。本发明包括：一：建立带有扰动项的工件台微动六自由度耦合模型；二：针对一建立的带有扰动项的工件台微动六自由度耦合模型确定模型参数不确定性；三：根据一和二，采用神经网络对非线性函数进行估计，获得估计结果；四：根据一和三确定工件台微动MIMO鲁棒模糊神经网络滑模控制律；五：根据四确定的控制律对工件台微动六自由度系统进行控制。本发明用于工件台微动六自由度控制系统。