一种高温自跟随分级补偿的差动变频调幅式电涡流位移传感器

摘要

本发明公开了一种高温自跟随分级补偿的差动变频调幅式电涡流位移传感器，属于电涡流位移传感器领域，该传感器主要由探头、温度感应分级电路和信号处理电路三部分构成。探头主要由线圈、高温胶和陶瓷线圈骨架组成，温度信号处理电路主要是由振荡电路、检波电路、滤波器、三级线性度补偿电路和差动电路组成，温度感应信号分级电路主要由热敏电阻、FPGA和模拟开关电路组成。通过采集在未补偿情况下电涡流位移传感器单路的温漂情况，设计多级温漂补偿电路的拟合阻值配比，由FPGA控制选择不同等级的温漂补偿电路，然后在被测物运动方向相反的两路作差动消除时漂误差后输出最终信号。本发明传感器主要在高温磁悬浮轴承中应用。