法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-09
授权
授权
2014-10-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/22 申请日:20120927
实质审查的生效
2013-05-15
公开
公开
机译: 用于机动车辆的致动器具有附加的驱动器,该驱动器具有耦接部件,该耦接部件的耦接端支撑在致动器元件上,其中该部件具有耦接轴线连接端,并且布置在包括致动器的旋转轴线的外部平面中
机译: 用于将EUVL掩模电耦合到支撑卡盘的导电元件
机译: 用于将EUVL掩模电耦合到支撑卡盘的导电元件