具有高深宽比微结构的复合膜的制造方法

摘要

本发明提供一种具有高深宽比微结构的复合膜的制造方法，其步骤包含：提供具有凹部表面的弧形底座；设置挠性基材于该弧形底座的凹部表面，并涂布可固化的聚合物层于该挠性基材表面；预固化该聚合物层；形成复数个凹槽结构于该聚合物层上，并完全固化该聚合物层，以形成复合膜；自该弧形底座移除该复合膜，以及平坦化该复合膜，以形成复数个高深宽比微结构。本发明藉由复数个凹槽结构朝向聚合物层的厚度方向分裂形成复数个高深宽比微结构的方式，不易产生压印后脱模不良的问题。