快速动态模温控制于高深宽比微结构注塑成型

摘要

本研究利用电磁感应加热技术结合冷却水以达到快速模具温度控制并应用于微结构注塑成型制程。实验结果成功利用快速模具温度控制技术将模具温度从60℃提高至140℃仅需3秒,同时利用CAE模拟技术以掌握高深宽比之微流道模具温度变化情形,并获得实验验证。仿真结果显示,电磁波能深入微流道底部加热,与模具表面的温差在2℃之内。搭配PMMA塑料成型深600μm、宽30～50μm(深宽比>12)之微结构,并成功地改善微结构转写性达到96%。