分割单晶的方法和装置以及对该方法用于确定单晶取向的调节装置和试验方法

摘要

提供一种用于分割单晶，特别是分割GaAs单晶的方法，其中使一待切成至少两部分的单晶(1)和一切割工具(2、3；8、8a、8b、8c)相互相对沿进给方向(V)移动，并且将单晶(1)定向成使一规定的结晶方向(K)位于切割平面(T)内，其特征在于，在规定的结晶方向(K)与进给方向(V)之间的夹角(ρ)这样选择，即使得在切割过程中沿垂直于切割平面作用到切割工具上的各力相互抵消。