通过气体的单电荷或多电荷离子束处理制备抗反射玻璃材料的方法

摘要

使用电子回旋共振(ECR)源产生的单电荷和多电荷的气体离子束处理玻璃材料的方法，其中‑离子加速电压为5kV‑1000kV以产生厚度等于100nm的倍数的注入层；‑每表面单位的离子剂量为10¹²个离子/cm²‑10¹⁸个离子/cm²，以产生等于10％的离子的原子浓度，其中不确定度水平为(+/‑)5％。有利地，这可以获得由玻璃制成的在可见区中非反射的材料。