非晶层极紫外线光刻坯料及用于制造该坯料的方法与光刻系统

摘要

一种集成极紫外线坯料生产系统包括：用于将基板置放在真空中的真空腔室；沉积系统，所述沉积系统用于沉积多层堆叠物而不从真空移除基板；以及处理系统，所述处理系统用于处理多层堆叠物上的层，所述层待沉积为非晶金属层。一种用于制造极紫外线掩模坯料的物理气相沉积腔室包括：靶材，所述靶材包含与硼合金的钼。一种极紫外线光刻系统包括：极紫外线光源；镜，所述镜用于导向来自所述极紫外线光源的光；中间掩模台，所述中间掩模台用于置放具有多层堆叠物的极紫外线掩模坯料，所述多层堆叠物具有非晶金属层；以及晶片台，所述晶片台用于置放晶片。一种极紫外线坯料包括：基板；具有非晶金属层的多层堆叠物；以及位于所述多层堆叠物之上的覆盖层。