图形化蓝宝石衬底报废外延片的蓝宝石衬底再利用方法

摘要

本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底报废外延片的蓝宝石衬底再利用方法包括步骤:利用激光抛光扫描报废外延片的氮化镓来减薄氮化镓层；用浓盐酸与双氧水混合液清洗上述报废外延片；清除剩余的氮化镓，利用ICP刻蚀机在H2气氛的作用下，刻蚀经过清洗的报废外延片；或利用湿法腐蚀，用混合溶液腐蚀经过清洗的报废外延片；清洗干净得到再生的蓝宝石衬底。因本发明用激光抛光的方式，在不损伤蓝宝石的情况很容易减薄报废外延片的氮化镓层；经过清洗后再用干法腐蚀或湿法腐蚀将剩余部分的氮化镓层除去时，也不会损伤蓝宝石，而且成本低。因此本发明工艺步骤简单、成本低，能够将图形化蓝宝石报废外延片回收再利用，从而降低了图形化蓝宝石衬底的制备成本。