一种具有高灵敏度的柔性压阻式压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种具有高灵敏度的柔性压阻式压力传感器，该压力传感器包括柔性衬底、金属电极、网格状的石墨烯薄膜层；金属电极固定连接在柔性衬底顶面的两端，石墨烯薄膜层覆盖并连接在柔性衬底和部分金属电极上。该压力传感器不仅具有衬底可弯曲变形的优点，还具有很高的灵敏度，能够广泛使用于生物医学和可穿戴设备等领域。同时还公开了该柔性压阻式压力传感器的制备方法。