晶圆可接受性测试机台内部环境的监测方法和监测装置

摘要

本发明公开了一种晶圆可接受性测试机台内部环境的监测方法，包括：提供一监测晶圆并检测该监测晶圆的缺陷颗粒数量；将所述监测晶圆置入所述晶圆可接受性测试机台，对该监测晶圆模拟N次晶圆可接受性测试，其中N等于待进行所述晶圆可接受性测试的所有晶圆的数量且N为大于等于2的正整数；检测所述监测晶圆的缺陷颗粒数量；根据对监测晶圆模拟N次晶圆可接受性测试前后得到的监测晶圆的缺陷颗粒数量的差值判断晶圆可接受性测试机台的内部环境是否正常。本发明能够有效模拟机台正常测试时的内部环境情况，从而更有效、更严格地控制机台内部环境。