一种使用碳球在氮化镓内部制作孔隙层的方法

摘要

本发明涉及一种使用碳球在氮化镓内部制作孔隙层的方法，使用MOCVD设备在蓝宝石衬底的表面外延一层5微米厚氮化镓外延层，然后将液态蔗糖均匀涂覆在氮化镓外延层上，经过900℃高温退火，将蔗糖层碳化，形成均匀碳球层，在随后的HVPE外延生长氮化镓过程中，碳球层部位会出现纳米级的均匀孔隙形成孔隙层，技术效果是此孔隙层可以有效降低相应部位氮化镓的结构强度，提高了氮化镓从衬底上断裂剥离的可能性，达到制备氮化镓单晶衬底的目的，制造工艺简单、实用。