公开/公告号CN105712284B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-09-29
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡华润上华半导体有限公司;
申请/专利号CN201410723696.0
发明设计人 荆二荣;
申请日2014-12-02
分类号
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人邓云鹏
地址 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
入库时间 2022-08-23 10:01:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-20
专利权的转移 IPC(主分类):B81B 7/02 登记生效日:20170927 变更前: 变更后: 申请日:20141202
专利申请权、专利权的转移
2017-09-29
授权
授权
2017-09-29
授权
授权
2016-07-27
实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20141202
实质审查的生效
2016-07-27
实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20141202
实质审查的生效
2016-07-27
实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20141202
实质审查的生效
2016-06-29
公开
公开
2016-06-29
公开
公开
2016-06-29
公开
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机译: MEMS双层悬浮微结构的制造方法及MEMS红外探测器
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