基于MEMS技术的气动式红外探测器的计算机模拟

摘要

提出了一种可工作于室温环境下、基于MEMS技术的气动式红外探测器,它由束缚于微型腔体内、对特定波段的红外辐射具有吸收作用的气体介质构成。通过气体介质热膨胀引起的弹性薄膜形变,可获得包含红外辐射源信息的信号。建立了符合器件工作机制的物理模型,并通过有限元模型和流体-热-结构耦合模拟获得了微型腔体内气体介质的温度、速度场分布以及弹性薄膜的形变。