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基于MEMS技术的气动式红外探测器的计算机模拟

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提出了一种可工作于室温环境下、基于MEMS技术的气动式红外探测器,它由束缚于微型腔体内、对特定波段的红外辐射具有吸收作用的气体介质构成.通过气体介质热膨胀引起的弹性薄膜形变,可获得包含红外辐射源信息的信号.建立了符合器件工作机制的物理模型,并通过有限元模型和流体-热-结构耦合模拟获得了微型腔体内气体介质的温度、速度场分布以及弹性薄膜的形变.

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来源
《第二届全国信息获取与处理学术会议》|2004年|416-417419|共3页
会议地点大连
作者
吴峻苗; 邹德恕; 徐晨; 沈光地;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类红外探测、红外探测器;计算机仿真;
关键词
微机械; 气动式红外探测器; 流体-热-结构耦合; 计算机模拟; MEMS技术; 红外辐射源; 速度场;

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