具有可互换气体喷射器的沉积系统和相关的方法

摘要

一种沉积系统，该沉积系统包括能够在该沉积系统的腔室中可互换地使用的两个或更多个气体喷射器。所述气体喷射器中的每个均可以被构造成在基板支撑结构上产生一片流动气体。这些片的流动气体可以具有不同宽度，从而所述气体喷射器可以与具有不同直径的基板一起使用，这可以使用在不同基板的情况下使用所述系统，同时保持有效利用前体气体。形成这种沉积系统的方法包括将这种气体喷射器形成和构造成可在沉积腔室内的公共位置处可互换地使用。使用这种沉积系统的方法包括使用两个或更多个这种气体喷射器以将材料沉积在具有不同尺寸的基板上。