公开/公告号CN103930973B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-29
原文格式PDF
申请/专利权人 科锐;
申请/专利号CN201280041907.1
申请日2012-06-26
分类号H01L21/28(20060101);H01L29/51(20060101);H01L21/314(20060101);H01L21/331(20060101);H01L21/336(20060101);H01L29/16(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人林毅斌;杨思捷
地址 美国北卡罗来纳州
入库时间 2022-08-23 10:00:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-29
授权
授权
2014-08-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/28 申请日:20120626
实质审查的生效
2014-08-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/28 申请日:20120626
实质审查的生效
2014-07-16
公开
公开
2014-07-16
公开
公开
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