首页> 中国专利> 一种基于动态电压衬度分析的样品制备方法

一种基于动态电压衬度分析的样品制备方法

摘要

本发明公开了一种基于动态电压衬度分析的样品制备方法,首先对待测样品进行平面研磨,直至露出其测试结构,然后将待测样品粘贴在封装底座上,接着采用焊线将测试结构的Pad和封装底座的焊脚连接起来,然后将封装底座的焊脚通过导电胶带连接电池,完成电性连接,对待测样品进行测试。本发明提供的基于动态电压衬度分析的样品制备方法,相对于传统的纳米探针系统,具有易操作、耗时极短、成本低等特点,能够有效地使操作检测方式变得简易,不需要操作者对其有很丰富的操作经验,使用操作成本低廉,提高分析的可靠性、准确性和分析的效率。

著录项

  • 公开/公告号CN104897446B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-08-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;

    申请/专利号CN201510277921.7

  • 发明设计人 陈强;唐涌耀;刘迪;杨领叶;

    申请日2015-05-27

  • 分类号

  • 代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人吴世华

  • 地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

  • 入库时间 2022-08-23 09:59:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-08-22

    授权

    授权

  • 2015-10-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 1/28 申请日:20150527

    实质审查的生效

  • 2015-10-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 1/28 申请日:20150527

    实质审查的生效

  • 2015-09-09

    公开

    公开

  • 2015-09-09

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号