一种光刻机工件台探测器最佳高度确定方法

摘要

本发明公开了一种光刻机工件台探测器最佳高度确定方法，工件台携带光电探测器在特定光强位置处沿光轴方向进行光强度探测器，通过迭代查找光强极小值，对应位置即为探测器最佳高度。该方法通过控制工件台沿光轴方法上采样间隔，使测量精度可以达到微米量级，测量方法简单、快捷，测量精度高。