公开/公告号CN103866278B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201210532057.7
申请日2012-12-11
分类号
代理机构北京华沛德权律师事务所;
代理人刘丽君
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所
入库时间 2022-08-23 09:57:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-20
授权
授权
2014-07-16
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20121211
实质审查的生效
2014-06-18
公开
公开
机译: 用于原子层沉积(ALD)的有机前驱体组成以及使用该方法的ALD沉积方法
机译: 利用多个前驱体区域的原子层沉积方法,用于涂覆柔性基板
机译: 用于增加收获率的植物生长调节剂,用于植物生长的方法,用于增加种子和/或花的数量的方法,用于增加按钮数量和植物/小屋植物的方法。