抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器及制作方法

摘要

本发明提供一种抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器由三个相互独立的加速度传感单元集成为一体，三个方向的信号不会相互耦合干扰，每个方向的加速度信号都能准确地输出提取；Z轴方向的加速度传感单元由相互平行设置的单端固支的固支板和位于固支板固支端的相互垂直的敏感电阻构成，有效地抑制了X轴、Y轴方向的加速度引起的横向干扰；并且通过对敏感结构的关键尺寸进行适当的设计修改，可以获得1万g~20万g的不同量程的具有抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器；三个方向的加速度传感单元在结构上存在相似之处，在工艺上均为制作微机械加工的常规工艺，在工艺上能够相互兼容，易于集成，制作成本较低，容易实现大规模生产。