首页> 中国专利> 一种二硫化锡/三硫化二锡/硫化亚锡异质结薄膜的制备方法

一种二硫化锡/三硫化二锡/硫化亚锡异质结薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种二硫化锡/三硫化二锡/硫化亚锡异质结薄膜的制备方法,先用磁控溅射仪在FTO导电玻璃上溅射不同厚度的Sn,称取不同量的硫粉,在管式炉中硫化得到SnS

著录项

  • 公开/公告号CN105977334B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-06-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 许昌学院;

    申请/专利号CN201610527980.X

  • 申请日2016-07-07

  • 分类号

  • 代理机构河南大象律师事务所;

  • 代理人尹周

  • 地址 461000 河南省许昌市八一路88号

  • 入库时间 2022-08-23 09:56:49

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-06-06

    授权

    授权

  • 2016-10-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/072 申请日:20160707

    实质审查的生效

  • 2016-09-28

    公开

    公开

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