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金属醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的制造方法和醇化合物

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摘要

本发明提供一种具有适合作为CVD法中的薄膜形成用原料的物性的金属醇盐化合物，特别是具有适合作为金属铜薄膜形成用原料的物性的金属醇盐化合物。具体地说，提供一种由下述通式(I)表示的金属醇盐化合物以及含有该金属醇盐化合物的薄膜形成用原料。通式(I)中，R

1. 金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P] . 中国专利： CN111032663A . 2020-04-17
2. 金属醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的制造方法和醇化合物 [P] . 中国专利： CN104470892A . 2015-03-25
3. Metal alkoxide compound, raw material for thin film formation, method for producing thin film, and alcohol compound [P] . 日本专利： JPWO2014077089A1 . 2017-01-05

机译：金属醇盐化合物，薄膜形成用原料，薄膜的制造方法以及醇化合物
4. Metal alkoxide compound, raw material for thin film formation, method for producing thin film, and alcohol compound [P] . 日本专利： JP6200429B2 . 2017-09-20

机译：金属醇盐化合物，薄膜形成用原料，薄膜的制造方法以及醇化合物
5. Alkoxide compound, the raw materials for thin film formation and the alkoxide compound which is displayed with [P] . 日本专利： JP4632765B2 . 2011-02-23

机译：醇盐化合物，形成薄膜的原料和用醇盐展示的醇盐化合物