石墨烯光吸收特性的玻璃基波导型光电探测器及制备方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯光吸收特性的玻璃基波导型光电探测器及制备方法。包括依次自下而上分布覆于玻璃衬底之上的玻璃基波导、石墨烯薄膜和两块金属电极，玻璃基波导呈条形位于玻璃衬底中部，石墨烯薄膜覆于玻璃基波导中部，两块金属电极相对称地位于石墨烯薄膜的两侧，每块金属电极中一部分直接覆于玻璃衬底上，另一部分覆于石墨烯薄膜上。本发明通过形成光电流信号来实现光电探测器的功能，电压低，结构简单，制作成本低，响应度高，可应用于集成光学，具有大规模生产的潜力。