一种基于静电控制扭摆的导体表面电势测量仪

摘要

本发明提供了一种基于静电控制扭摆的导体表面电势测量仪，包括悬丝、探针支架，扫描探针，多自由度微位移平移台，角度传感器，控制系统和反馈执行机；扫描探针设置在探针支架的任意一个端面上；悬丝悬挂探针支架构成扭摆；工作时，待测样品设置在多自由度微位移平移台上，待测样品的待测表面正对且平行于扫描探针的端面；扫描探针的端面与待测表面不接触；当扫描探针与待测样品之间存在相互作用时，角度传感器将检测的扭摆的扭转信息传给控制系统；进行PID运算后获得的反馈控制电压传给反馈执行机，产生一个与外力矩等大的反馈控制力矩并施加给探针支架，使得探针支架保持相对静止；驱动微位移平移台使待测样品相对于扫描探针移动，从而实现对样品表面不同区域的扫描测量。