一种气相沉积硬质薄膜结合强度的测试方法及装置

摘要

本发明公开了一种气相沉积硬质薄膜结合强度的测试方法及装置，在镀有硬质薄膜的金属试样表面，通过球形压头在一定载荷下反复压入，经过一定周次后压痕及周围的镀层出现剥落，采用光学摄像观察记录开始发生剥落时的周次，获得薄膜在该载荷下发生剥落时的载荷——剥落周次曲线，可表征硬质薄膜/金属或硬质合金基体之间的结合强度。本发明还提供了一种测试装置，主要包括一套循环压入试验机、电磁驱动系统、载荷控制和反馈系统、力传感器采集系统、光学摄像仪。本发明适用于工业领域广泛应用的金属或硬质合金基体表面的硬质薄膜的结合强度的测定，成本低、方法简单、可定量测定膜基界面结合强度，而且比传统的划痕和压入等方法更符合实际工况。