法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-18
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20190925 变更前: 变更后: 申请日:20130916
专利申请权、专利权的转移
2017-04-12
授权
授权
2017-04-12
授权
授权
2015-11-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20130916
实质审查的生效
2015-11-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20130916
实质审查的生效
2015-10-21
公开
公开
2015-10-21
公开
公开
查看全部
机译: 一种用于光刻设备的薄皮,该薄皮方法用于光刻设备,一种光刻设备,一种设备制造方法,一种用于处理薄皮的设备以及一种用于处理薄皮的方法。皮肤薄
机译: 方法,用于光刻设备的防护膜,光刻设备,器件制造方法,用于防护膜的设备以及用于制造该光刻设备的防护膜的用于防护膜的方法
机译: 用于光刻设备的防护膜的制造方法,用于光刻设备的防护膜设备,光刻设备,器件制造方法,防护膜处理设备和防护膜处理方法