一种半导体激光器芯片残余应力分布测试方法及装置

摘要

本发明设计了一种半导体激光器芯片残余应力分布测试方法及装置，该装置能够通过无损方法测试半导体激光器芯片残余应力分布，能够广泛应用于半导体激光器封装器件性能的表征，对于提高半导体激光器性能具有非常重要的现实意义。