一种实现稳定测温的测温装置及其所在的半导体设备

摘要

本发明公开了一种实现稳定测温的测温装置及其所在的半导体设备，通过在测温装置的绝缘管内部设置热电极固定装置，将所述两根热电极与所述绝缘管保持相对固定，从而使得测量端与待测温物体的表面接触良好，避免了日常设备维护时，热电极由于维护过程中的拖拽与绝缘管发生滑移，从而影响测量结果的现象，保证了测量结果的稳定性和准确性，同时在绝缘管下方设置一弹簧，通过弹簧的弹力使得测量端与被测物体接触良好的同时，避免了测温装置与被测温物体的刚性接触导致的被测温物体破裂。