一种半导体工艺设备中的测温装置及半导体工艺设备

摘要

本发明公开了一种半导体工艺设备中的测温装置及半导体工艺设备，其中测温装置包括：红外测温仪；红外测温仪夹紧件，用于夹紧于红外测温仪；调节机构，设置在工艺腔室上，红外测温仪夹紧件设置在调节机构上，调节机构包括：承载块，用于承载红外测温仪夹紧件，承载块上与红外测温仪对应的位置处设置有通光部；调整部件，设置于工艺腔室上，位于承载块下方，与承载块连接，调整部件用于调整承载块相对于竖直方向的倾斜角度和/或相对于工艺腔室的水平位置，以调整红外测温仪相对于竖直方向的倾斜角度和/或相对于工艺腔室的水平位置。本发明的测温装置能够测量待测部件不同区域的温度分布。