在替代栅极结构上方形成栅极覆盖层的方法以及相关装置

摘要

本发明揭露在替代栅极结构上方形成栅极覆盖层的方法以及相关装置。在一示例中，本发明的装置包括具有凹入上表面的替代栅极结构，邻近该替代栅极结构的侧间隙壁以及位于该替代栅极结构上方的栅极覆盖层，其中，该栅极覆盖层的底部表面对应该替代栅极结构的该凹入上表面。