公开/公告号CN104197846B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院光电技术研究所;
申请/专利号CN201410479062.5
申请日2014-09-18
分类号
代理机构北京科迪生专利代理有限责任公司;
代理人杨学明
地址 610209 四川省成都市双流350信箱
入库时间 2022-08-23 09:53:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-15
授权
授权
2015-01-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20140918
实质审查的生效
2014-12-10
公开
公开
机译: 用于激光材料加工设备的可变形反射镜,其致动器在径向相对于反射镜纵轴位移的径向相对位置支撑在反射镜板的背面
机译: 一种确定各个反射镜和反射镜组中各个反射镜的位置的方法,该反射镜对来自端部测量站的角空间的辐射
机译: 用于检测具有不同表面特性的物体的反射光栅具有接收器元件阵列;如果监视区域是在后向反射镜三元组处反射的光束的自由衍射图样,则在接收元件上成像