45°光纤微反射镜聚焦离子束加工及多轴位移检测研究

摘要

聚焦离子束加工作为一种微纳加工手段,可以用来制造纳米元件和微结构元件.研究了在多芯光纤的末端,使用聚焦离子束加工技术设计和制造45°镜面的全过程.该光学镜面由两步加工完成,首先是扫描过程,用来制造粗糙的切割面;然后是抛光过程,用来完成光学表面的光洁处理.加工完成的45°镜面可以准确地与光纤的纤芯对接,避免了外部转向镜组件对接的相关问题.实验测试表明,加工的结构可以通过干涉测量两个垂直轴向的位移值,检测位移测量范围大致为60 μm,X和Y方向的均方根绝对测量误差约为1.75‰和1.97‰.该技术有望用于精密零件内表面、血管内壁等检测领域.