非抛光玻璃晶片、使用非抛光玻璃晶片减薄半导体晶片的减薄系统和方法

摘要

本文描述非抛光玻璃晶片、使用非抛光玻璃晶片减薄半导体晶片的减薄系统和方法。在一个实施例中，玻璃晶片具有主体（例如圆形主体），包括基本上彼此平行的非抛光的第一表面和非抛光的第二表面。此外，圆形主体具有等于以微米为单位的总厚度变化加上以微米为单位的弯曲的十分之一的晶片质量指标，该晶片质量指标小于6.0。