一种能消除微机械陀螺仪正交误差的信号处理方法

摘要

本发明一种能消除微机械陀螺仪正交误差的信号处理方法，将陀螺仪驱动信号一路经移相器后变成第一解调参考信号，另一路经相同的移相器与一个90°移相器后变成与第一路解调参考信号正交的第二路解调参考信号，该两路解调参考信号分别对输入信号进行第二次相敏解调，所得信号经低通滤波后进行取和与作差；和值信号输入微分电路反馈控制第一路解调参考信号的相位值，当控制信号为零时，第一路解调参考信号V_ref1(t)的相位恰好滞后输入的角速度信号45°，和值输出纯净的正交误差信号，差值输出中正交误差被完全消除；本发明能有效减小其对有用角速度的影响，大大提高静电驱动电容式微机械陀螺仪的测量精度。