一种静电驱动电容式微机械陀螺仪有效抑制正交误差的方法

摘要

本发明一种静电驱动电容式微机械陀螺仪有效抑制正交误差的方法，陀螺仪驱动信号一路经移相器后成一路解调参考信号对输入信号进行第二次相敏解调后，经低通滤波作为最终的输出信号输出，另一路驱动信号经与相同的移相器和90°移相器后，变成与第一路解调参考信号正交的解调参考信号对输入信号进行第二次相敏解调后，再经低通滤波作为微分电路的输入信号V_out7；微分电路输出作为移相器的控制信号，当控制信号为零时，移相器停止工作且其移相值不变；当控制信号不为零时，移相器将继续工作直到微分电路的输出为零为止；本发明能有效减小静电驱动电容式微机械陀螺仪在检测角速度时由于工艺误差而引起的正交误差，大大提高其测量精度。