组合光栅微位移传感器及其测量位移的方法

摘要

本发明公开了一种组合光栅微位移传感器及其测量位移的方法，该传感器包括两组发射接收结构、第一运动光栅、第二运动光栅、第一固定光栅、第二固定光栅、增反层、第一固定底座、第二固定底座、回形悬臂梁、上层电容平板、下层电容平板、信号处理模块和电流驱动模块。本发明大大缩小了系统的体积，而且引入了梳状电极、电容平板作为静电力回复闭环器件，能够精确对位移进行探测，扩大了探测器的动态范围；通过一组光栅产生的脉冲式光强变化信号来锁定另一组光栅产生的平缓光强变化信号斜率最大的位置，从而测量位移；实现了传感系统的小型化、高精度，在航空、军事领域都有很广泛的应用前景。