一种无金属线切口问题的金属湿法蚀刻方法

摘要

本发明公开一种无金属线切口问题的金属湿法蚀刻方法，其包含：1、晶圆上依次溅镀钛金属层、氮化钛层、铝金属层和氮化钛薄膜；2、涂覆光刻胶并进行显影；3、紫外线硬化处理光刻胶；4、湿法蚀刻制成镀有氮化钛薄膜的金属线；5、去除氮化钛薄膜上的光刻胶；6、清洗晶圆表面以及镀有氮化钛薄膜的金属线；7、湿法蚀刻掉未制成金属线区域内的钛金属层、氮化钛层、金属线上镀有的氮化钛薄膜；8、蚀刻后灰化处理；9、蚀刻后检查。本发明在金属层上增加氮化钛薄膜，利用氮化钛薄膜的平滑表面，优化光刻胶与金属层之间的附着力，解决金属线上金属线切口的问题，提高产品良率；该增加的氮化钛薄膜最后可用湿法蚀刻去除，以获得和原来一样的金属层结构。