公开/公告号CN104704573B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 MIRUC光学株式会社;
申请/专利号CN201380051622.0
发明设计人 村松洋明;
申请日2013-10-02
分类号G12B5/00(20060101);B23Q5/22(20060101);
代理机构11290 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司;
代理人周善来;李雪春
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:51:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-25
授权
授权
2015-07-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G12B 5/00 申请日:20131002
实质审查的生效
2015-06-10
公开
公开
机译: 驱动单元具有载物台特征的驱动载物台及上述载物台以及电子显微镜
机译: 显微镜载物台组件,用于检查显微镜的基本结构,在显微镜载物台的各个位置具有两个接合单元,用于可互换的显微镜载物台驱动机构
机译: 载物台单元和包括该载物台单元的基板处理设备及其使用方法