无机盐原料液相化学法制备SrBi₂Ta₂O₉ 铁电陶瓷薄膜

摘要

本发明特别涉及的是无机盐原料液相化学法制备SrBi₂Ta₂O₉铁电陶瓷薄膜的制备方法，本发明的技术是这样实现的：可溶性无机盐原料的制备，SrBi₂Ta₂O₉溶液的制备，SrBi₂Ta₂O₉溶胶的制备，SrBi₂Ta₂O₉薄膜的制备。SrBi₂Ta₂O₉铁电陶瓷薄膜的制备目前国内外在液相化学法方面采用的原料都是金属有机盐类化合物。本发明首次以无机物为原料，采用络合剂螯合技术，利用无机盐溶液液相化学法成功地制备出了SrBi₂Ta₂O₉铁电陶瓷薄膜。此方法对利用我国资源优势制备SrBi₂Ta₂O₉薄膜，发展信息产业技术有重要现实意义。