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研磨垫成型模具的制造方法、研磨垫成型模具及研磨垫

摘要

本发明提供一种能够高精密且高效率地进行平坦加工的研磨垫成型模具的制造方法、研磨垫成型模具及研磨垫。形成有排列了细微凸部(12)微型图案α的研磨垫(13)的研磨垫成型模具(10)的制造方法,具有制作在基板(21)的一方侧形成有相对于微型图案α凹凸关系被翻转了的微型图案β的母模(26)的母模制作工序;用母模(26)制作在表层形成有微型图案γ的正片子模(27)的正片子模制作工序;用正片子模(27)制作在表层形成有微型图案δ的底片子模(18)的底片子模制作工序,和把底片子模(18)的形成有微型图案δ的表层当作上面排列固定在底座(17)上构成研磨垫成型模具(10)的组装工序。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-12-28

    授权

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  • 2014-02-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/00 申请日:20130628

    实质审查的生效

  • 2014-01-22

    公开

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