砂浆对固结磨具研磨垫研磨SiC工件的影响

摘要

为高效 、稳定加工SiC工件,采用碳化硅砂浆辅助亲水性固结磨具研磨垫精研的方法,实验比较砂浆辅助固结磨具研磨垫研磨与传统固结磨具研磨垫研磨的差异,并研究砂浆中碳化硅的颗粒尺寸和质量分数对SiC工件精研去除率和表面形貌的影响.通过测算研磨垫的溶胀率和磨损率,探索碳化硅砂浆的作用机制.结果表明:在砂浆中添加颗粒尺寸为3～5μm、质量分数为3％ 的SiC时,精研过程的平均材料去除率为1.4246μm/min,工件表面粗糙度Ra为84.6 nm;而没有砂浆辅助精研时,材料去除率为0.0400μm/min,表面粗糙度Ra为61.4 nm.碳化硅砂浆的加入能有效提高亲水性固结磨具研磨垫的自修整能力,其自修整能力随砂浆中碳化硅的尺寸和质量分数增大而增强,材料的去除率提高,工件表面质量略降.