公开/公告号CN103797155B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-11-09
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201280043697.X
申请日2012-09-13
分类号C23C16/44(20060101);C23C16/455(20060101);H01L21/205(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人胡林岭
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:49:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-09
授权
授权
2014-10-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20120913
实质审查的生效
2014-05-14
公开
公开
机译: 线性大面积等离子体反应器中气体的输送和分配,以实现均匀处理
机译: 线性大面积等离子体反应器中的气体输送和分配可实现均匀过程
机译: 线性大面积等离子体反应器中气体的输送和分配过程均匀