公开/公告号CN1879189B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-01-19
原文格式PDF
申请/专利权人 欧瑞康太阳IP股份公司(特吕巴赫);
申请/专利号CN200480032865.0
申请日2004-09-08
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人杨凯;陈景峻
地址 瑞士特吕巴赫
入库时间 2022-08-23 09:05:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J37/32 授权公告日:20110119 终止日期:20190908 申请日:20040908
专利权的终止
2013-12-11
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01J37/32 变更前: 变更后: 申请日:20040908
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2013-12-11
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01J 37/32 变更前: 变更后: 申请日:20040908
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2011-04-27
专利权的转移 IPC(主分类):H01J37/32 变更前: 变更后: 登记生效日:20110322 申请日:20040908
专利申请权、专利权的转移
2011-04-27
专利权的转移 IPC(主分类):H01J 37/32 变更前: 变更后: 登记生效日:20110322 申请日:20040908
专利申请权、专利权的转移
2011-01-19
授权
授权
2011-01-19
授权
授权
2010-01-06
专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20091204 申请日:20040908
专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
2010-01-06
专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20091204 申请日:20040908
专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)
2007-02-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-02-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-12-13
公开
公开
2006-12-13
公开
公开
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机译: 补偿方法不均匀反应器张力,用于大面积矩形基板的高频等离子体处理。
机译: 矩形大面积基板高频等离子体反应器电压不均匀补偿方法
机译: 矩形大面积基板高频等离子体反应器电压不均匀补偿方法