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卫博;
北京真空电子技术研究所 北京100015;
大面积等离子体; 915MHz频率微波反应器; 电场分布; 电磁仿真;
机译:一个915 MHz / 75 kW圆柱形腔型微波等离子体化学气相沉积反应器,梯形圆周天线开发用于种植大面积金刚石薄膜
机译:大面积/低温分布式天线阵列微波等离子体反应器中沉积的纳米晶金刚石薄膜的微观结构和生长动力学
机译:分布式天线阵列微波等离子体反应器的低温大面积沉积纳米晶金刚石薄膜
机译:大面积金刚石膜沉积条件下微波腔等离子体反应器的表征
机译:用于二氧化碳分解的微波等离子体反应器的设计与表征
机译:绝缘直接合成大面积石墨烯微波等离子体CVD在低温下处理基板
机译:用数值分析设计边缘锥形915MHz / TM021微波等离子体反应器
机译:用于RF等离子体沉积的大面积反应器中的电压均匀性研究
机译:大面积微波等离子体化学气相沉积(LA MPCVD)反应器装置及其提供方法
机译:微波等离子体反应器和包括该等离子体反应器的微波等离子体发生器
机译:均匀性提高的大面积VHF等离子体处理的方法和反应器设计
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