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生长在蓝宝石衬底上的金属Al单晶薄膜及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及一种生长在蓝宝石衬底上的金属Al单晶薄膜,包括Al

著录项

  • 公开/公告号CN103996607B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-10-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 广州市众拓光电科技有限公司;

    申请/专利号CN201410240851.3

  • 发明设计人 李国强;

    申请日2014-05-30

  • 分类号

  • 代理机构广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙);

  • 代理人汤喜友

  • 地址 510000 广东省广州市广州高新技术产业开发区科学城南翔一路62号厂房

  • 入库时间 2022-08-23 09:48:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-10-19

    授权

    授权

  • 2014-09-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/20 申请日:20140530

    实质审查的生效

  • 2014-08-20

    公开

    公开

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