用于检测MEMS微泵的故障的方法和系统

摘要

一种用于检测微泵的包括可能的欠或过输送的故障的方法，所述微泵至少具有入口阀、具有内部压力传感器的泵浦室和出口阀，所述方法包括通过当泵不活动时至少以一定的时间间隔由所述泵浦室中的所述内部压力传感器进行的压力的测量和与参考值的比较确定泵密闭性。