用于精确的且低消耗的MEMS微泵致动的方法以及用于执行所述方法的装置

摘要

本发明描述了由于交替的致动循环产生的改进以减小与泵送室弹性、致动器松弛或滞后相关的传送误差。该方法以最优的驱动电压分布来致动泵送装置，其中泵送装置包括泵送室，其包括泵送膜和与所述膜连接的电压受控的致动器；所述膜的移动由三个位置限定，即静止、底部和顶部位置。该方法包括具有包括至少两个不同周期的泵送模式的膜的致动：周期A：静止-底部-静止-顶部-静止，周期B：静止-顶部-静止-底部-静止。本发明还涉及一种执行该方法的装置。